銅合金蝕刻工藝要求

(1)銅合金蝕刻工藝過程:預處理*防蝕層制作一裝掛一蝕刻*流動水洗*光化處理 — 自動水洗、檢查、防蝕層一干燥、下掛*檢查*包裝。

(2)主要工序要求如下所述。

①預處理:按銅及合金預處理工藝規范(見2.3.3節)進行。

②防蝕層制作:刻劃法按刻劃法工藝規范(見3.3.7節)進行;感光法按感光法工藝規范 (見3.4.5節)進行;絲印法按絲印工藝規范(見3.5.4節)進行;激光光刻法按激光光刻工藝 規范(見4.2.5節)進行。

③裝掛:根據蝕刻方法的不同選擇合適的裝掛方式。裝掛時應牢固，保證工件不相互貼 合、碰撞。裝掛位置適當，盡量避免在化學處理時產生氣囊，保證蝕刻的均勻性。如是采用傳 輸式蝕刻設備進行蝕刻則不需要裝掛，但要采用合適的工裝，防止在噴射時使工件移位而影響蝕刻的進行。

④蝕刻:純銅堿性蝕刻按表4一16進行，銅及銅合金酸性蝕刻按表4一17進行。 對于垂直蝕刻的工件要定時將上下位置對換，在蝕刻過程中要注意檢查蝕刻深度的變化， 在蝕刻到深度的80%左右時應取出工件測量深度，然后再確定余下的蝕刻時間。對于深度不 ，高的臺階及圖文蝕刻可根據預先工藝試驗確定的時間進行。

       對于垂直蝕刻的工件要定時將上下位置對換，在蝕刻過程中要注意檢查蝕刻深度的變化， 在蝕刻到深度的80%左右時應取出工件測量深度，然后再確定余下的蝕刻時間。對于深度不 ，高的臺階及圖文蝕刻可根據預先工藝試驗確定的時間進行。

⑤光化處理按表4一18進行。

⑥檢查:這一步主要是檢查蝕刻深度、蝕刻表面的效果是否符合工藝要求并同時檢查防 蝕層有無異常。

⑦退除防蝕層:絲印、感光或激光光刻法制作的防蝕層可采用有機溶劑及5%氫氧化鈉溶 液進行清理;刻劃法制作的防蝕層可直接剝除，對于厚度不大的工件在剝除過程中應注意防止工件變形。

⑧干燥:在60℃一80℃的干燥箱(室)內干燥。

⑨卸掛:卸掛時應戴干凈的細紗手套，在以后各工序，操作人員都應戴干凈的細紗手套。 ①檢查:按金屬化學蝕刻驗收技術條件(見4.2.5節)執行。

(3)溶液配制與調整如下所述。 

   ①溶液的配制方法:略。②溶液成分的分析項目及分析周期見表4-19.

（4）輔助材料應符合下表規定